原有的機械真空泵普遍存在著工作介質返流的現象，這一現象會影響到產品的品質，讓設備的維護變的艱難，但如果使用的是干式真空泵就不會出現這一現象，因此它在多個行業中推廣開來。那么它具體都能夠應用在哪些領域呢？小編通過下面的文章為大家介紹一下：
1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等；
5、將干式真空泵用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
干式真空泵的應用是非常廣泛的，但主要還是應于以上幾個方面，并且都可以達到理想的使用效果。它的出現無疑為真空行業增添了一抹新的“靚麗風景”，相信憑借其良好的性能，在日后能夠為更多的行業所采用。
